Class100 潔凈烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、TP、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
 

　　產品特點：
 

　　1.在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100
 

　　2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
 

　　3.采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：3"φ(附自動啟閉風門)
 

　　4.強制送風循環方式。雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到*溫度控制精度。
 

　　設備簡介：
 

　　1、箱體結構：
 

　　烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統組裝而成，結構合理，外觀美觀大方；
 

　　箱體材料：外箱采用SUS304 ，1.5mm之拉絲不銹鋼，并經堿性蘇打水清潔，可防止微塵；
 

　　內膽材料：采用優質SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產生 PARTICLE；
 

　　中桶材料：采用優質SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。
 

　　2、溫控系統：
 

　　采用日本“神港”溫度控制器，控制器LED數字顯示及設定、PID自 動演算、薄膜設定，準確度±0.3%FS。
 

　　訊號來源：采用PT100熱電阻±0.5%。
 

　　輸出被控制組件：SSR無接點訊號輸出。
 

　　3、完善的安全保護措施：
 

　　漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、超溫防止保護裝置、電熱過電流保護裝置、馬達過電流保護、機臺異常蜂鳴器警示 逆向防止器、門面安全開關
 

　　4、選購設備：
 

　　可程式溫控器        無紙記錄儀        三色指示燈          烘烤架